
| 品牌 | 迅杰光远 | 仪器种类 | 在线 |
|---|---|---|---|
| 仪器原理 | 在线、便携式 | 价格区间 | 面议 |
| 应用领域 | 半导体 |
IAS-M100化学药液浓度计
*稳定浓度,提升良率
助力半导体与新能源行业高效生产
IAS-M100系列化学药液浓度计是我司针对关键清洗和刻蚀工艺而设计的药液浓度分析仪器,主要应用于半导体工业、FPD、太阳能等高科技行业的湿法制程环节。设备可以对湿法刻蚀、清洗和光阻去除药液的浓度进行实时监控,能够及时有效的对药液浓度进行闭环定量控制,方便工作人员实时了解药液浓度变化,从而达到有效降低药液的无效消耗并减少异常清洗情况的发生。
高精度化学药液浓度检测系统 跨领域赋能-国产化突围-智造全链增效
自主学习机制:基于实时工况数据的在线校准技术,异常浓度波动的自诊断与容错处理。
工艺耦合建模:集成半导体制程参数补偿算法,匹配精密化学药液控制需求。开发光伏清洗剂动态衰减模型,实现剂量精准调控。
模块化适配能力:产品模块化设计,方便光源更换维护,光纤型可扩展探头系统兼容多种工况,与主流清洗机台设备实现I/O通讯标准化对接。
半导体级可靠设计:多重防腐材料组合方案应对强酸/强碱介质,适配颗粒、离子析出需求。
光学技术突破:融合透射模式探测,适配不同材质容器及溶液状态。采用抗污染光学窗口和冗余光路设计,确保各种工况下的长期稳定性。
